CRF等離子表面處理機(jī)主機(jī)電源采用不同的工序氣體類型及其作用機(jī)制：
       等離子表面處理機(jī)主機(jī)電源所采用的工序氣體，如h2、ar、he 等對錯反射氣體。這種氣體原子并不能直接進(jìn)入大分子表面的大分子鏈，但是由于這些非反應(yīng)性氣體等離子中的高能粒子對表面的躍遷，做好能量傳遞，產(chǎn)生大量的官能團(tuán)，這些官能團(tuán)通過在表面上產(chǎn)生雙鍵和交聯(lián)的結(jié)構(gòu)而在表面產(chǎn)生非常多的官能團(tuán)，因而非反應(yīng)性氣體等離子體通過表面產(chǎn)生了薄而細(xì)的交聯(lián)層，不僅改變了材料表面的自由能，并且降低了聚合物內(nèi)部低分子物質(zhì)(增塑劑、抗氧劑等)的滲出。

        氫離子等離子表面處理機(jī)主機(jī)電源等離子充放電在選擇懶惰氣體做好等離子體表面處理時(shí)，若所處理的聚合物材料本身含有氧，則大分子裂解產(chǎn)生大分子碎片，進(jìn)入等離子體內(nèi)部，為等離子體系統(tǒng)提供氧，也會產(chǎn)生氧等離子體效應(yīng)。若材料本身不含氧，用懶惰等離子體處理后，新生官能團(tuán)(半衰期可達(dá)2~3天)及空氣中的氧效應(yīng)也能導(dǎo)致氧與大分子鏈的結(jié)合，因而惰性氣體等離子體處理含氧聚合物時(shí)，會出現(xiàn)交聯(lián)刻蝕，引入極性基團(tuán)三方競爭反應(yīng)，對不含氧聚合物資料，只是處理后與空氣中的氧效應(yīng)，便引入含氧基團(tuán)。
       等離子表面處理機(jī)是指面處理過程中，非聚合性氣體對聚合物材料表面效應(yīng)產(chǎn)生的物理和化學(xué)過程。不聚合氣體包括反性氣體和非反性氣體，等離子表面處理機(jī)主機(jī)電源采用不同的氣體分類法對大分子表面效應(yīng)的作用機(jī)制也不同。
        等離子表面處理機(jī)主機(jī)電源等離子體誘導(dǎo)聚合是指在輝光放電條件下，活化顆粒(分子)誘導(dǎo)的聚合，表觀上發(fā)生官能團(tuán)，然后與單體結(jié)合的聚合方式，如分子鏈發(fā)生交聯(lián)或側(cè)鏈上接枝，官能團(tuán)置換和嵌段聚合等。采用等離子體誘導(dǎo)聚合作用產(chǎn)生聚合物，單體必須包含聚合能量的結(jié)構(gòu)，如雙鍵、三鍵或環(huán)鍵等。等離子體狀態(tài)聚合(PSP)是通過等離子體激活粒子的再聚合，沉積到表層的過程，這種聚合作用就是在等離子體中發(fā)生的原子的過程。