利用電漿清洗機(jī)的蝕刻系統(tǒng)除去孔內(nèi)的灰塵和微蝕刻:
       電漿清洗機(jī)從二十世紀(jì)初開始。伴隨著高科技產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，它的應(yīng)用日益廣泛，目前在很多高科技領(lǐng)域都處于核心位置，電漿清洗機(jī)對(duì)產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明的影響最為顯著，首推了電子工業(yè)，特別是半導(dǎo)體光電行業(yè)。電漿清洗機(jī)具有成本低、勞動(dòng)量小、工作效率高等優(yōu)點(diǎn)，是1種新型的電漿清洗機(jī)方式。

       我們都知道，太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)對(duì)清潔生產(chǎn)技術(shù)要求很高。太陽(yáng)極硅片材即使無(wú)電子級(jí)要求，但純度也非常高，等離子清洗技術(shù)誕生后，在切片等工序中，為了清洗硅晶片和多余雜質(zhì)，電漿清洗機(jī)變成1種常用的清洗方式。在綜合了等離子物理、等離子化學(xué)和氣-固界面化學(xué)反應(yīng)，有效去除表面污漬和附著力。
       電漿清洗機(jī)技術(shù)應(yīng)用于各種電子零部件的制造中，沒(méi)有電漿清洗機(jī)技術(shù)，就沒(méi)有現(xiàn)在這樣發(fā)達(dá)的電子、信息、通信行業(yè)。另外，等離子清洗技術(shù)還可以應(yīng)用在光電、航空、聚合物等行業(yè)，也可以用在光學(xué)元件上鍍，通過(guò)電漿清洗機(jī)工藝技術(shù)處理過(guò)后，可以延長(zhǎng)模具或刀具壽命，增強(qiáng)耐磨層、提升復(fù)合材料、纖維織布或內(nèi)含鏡片的表面附著力等，以上領(lǐng)域在生產(chǎn)過(guò)程中，會(huì)遇到粘接不牢固等問(wèn)題，都需要電漿清洗機(jī)的進(jìn)步才能實(shí)現(xiàn)。電漿清洗機(jī)具有工藝簡(jiǎn)單、節(jié)能、節(jié)省材料，降低了材料需求的特點(diǎn)。它是通過(guò)等離子轟擊物體表面而實(shí)現(xiàn)PBC去污的。利用電漿清洗機(jī)的蝕刻系統(tǒng)除去孔內(nèi)的灰塵和腐蝕，從而除去鉆孔中的絕緣，最終提高產(chǎn)品質(zhì)量。