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CRF plasma 等離子清洗機

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哪些領域可以應用-CRF小型等離子清洗器

       CRF小型等離子清洗器!設備的特點及各加工行業(yè)的應用越來越廣泛,尤其是科研領域具有獨特功能:等離子清洗、蝕刻、等離子電鍍、等離子噴涂、等離子灰化和表層改性等在電鏡等方面的特殊應用,并論述了等離子清洗蝕刻機的特殊性及其在現(xiàn)代科學研究中不可替代性。

       CRF小型等離子清洗器呈現(xiàn)的等離子體是由氣體分子在真空、放電等特殊條件下呈現(xiàn)的特有現(xiàn)象。一般等離子包括電子,離子,自由基和質(zhì)子。正如能量需要將固體變?yōu)闅怏w,而制造離子體也需要能量,離子可以與電磁反應傳導。


CRF小型等離子清洗器

      CRF小型等離子清洗器在密封容器內(nèi)設置兩個電極以形成電場,達到一定的真空度,并且隨著氣體越來越稀薄,分子間隔和分子或離子的自由運動距離越來越遠,在電場的作用下,碰撞形成等離子體,呈現(xiàn)輝光放電。在輝光放電過程中,氣壓、放電功率、氣體組分、流速、物料類型等因素對材料的腐蝕(效)果有重要影響。 因為等離子體輝光放電是由真空紫外光,對蝕刻率有積極影響,氣體中含有中性粒子、離子和電子。中性顆粒與溫度、電子能量對應的溫度較高,稱為非平衡等離子體和冷等離子體,主要表現(xiàn)出電中性(準中性)氣體所呈現(xiàn)的高自由基和離子活性,其能量足以破壞所有化學鍵,在物質(zhì)的表層上都會呈現(xiàn)化學反應。通常等離子體中粒子的能量為數(shù)十個電子伏特,與聚合物材料的結合鍵(數(shù)十個電子伏特)相比,能夠破壞有(機)大分子的化學鍵,但遠低于高能放射線鍵,不影響基體的性能。 粘結劑在電鍍、粘接、焊接操作過程中,常因殘余物而減弱,這些殘余可通過等離子體選擇性地去除。與此同時氧化層對鍵合質(zhì)量也有危害,需要等離子清洗,提高焊接穩(wěn)定性。

     在等離子蝕刻過程中,通過高能氣體,蝕刻物會變成氣相。被處理過的氣體和基體材料從真空泵中抽出,并被處理過的氣體連續(xù)覆蓋。不被蝕刻的部分重新覆蓋材料(如半導體工業(yè)用鉻膜覆蓋材料)


CRF小型等離子清洗器

       CRF小型等離子清洗器也被應用在蝕刻塑料表層,使其充滿氧,同時分析其分布。在塑料印刷和粘接過程中,蝕刻技術作為預處理的重要手段,如等離子處理可大大提高粘接濕面積。使用活性堿金屬可提高粘接能力,但這種方法不容易掌握,而且溶液毒性大。采用等離子體技術,不僅能保護環(huán)境,而且(效)果更好。等離子體結構可以較好的處理物體表層,同時在表層形成活性層,進行塑料粘結和印刷。

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