plasma清洗工藝主要適用范圍和特性：
1.plasma清洗：為了提升器具、模具等的性能，需要用等離子體滲透金屬表面的氮、碳、硼、碳氮。該方法的特點(diǎn)是，不是在表面入復(fù)蓋層，而是改變基體表面的材料結(jié)構(gòu)及其性能。在處理過(guò)程中，工件溫度低，不使工件變形對(duì)精密零件很重要。該方法可應(yīng)用于各種金屬基體，主要有輝光放電氮、氮碳滲透、硼滲透。

2.等離子體在電子工業(yè)中的應(yīng)用：大規(guī)模集成電路芯片的生產(chǎn)技術(shù)，過(guò)去采用化學(xué)方式，用plasma清洗方法代替后，不僅降低了工藝中的溫度，還將涂膠、顯影、腐蝕、除膠等化學(xué)濕法改為等離子體干法，使技術(shù)更加簡(jiǎn)單，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化等離子體用于材料表面改性，主要包括以下幾個(gè)方面：
①改變潤(rùn)濕性(也稱(chēng)為潤(rùn)濕性)。有機(jī)化合物表面的潤(rùn)濕性對(duì)顏料、墨水、粘合劑等的粘結(jié)性、材料表面的閃光電壓和表面泄漏電流等電氣性能有很大影響。測(cè)定潤(rùn)濕性的量稱(chēng)為接觸角。
②增強(qiáng)粘合力。用plasma清洗活化氣體處理一些聚合物和金屬后，可以增強(qiáng)材料和粘合劑的結(jié)合強(qiáng)度。緣由多半是聚合物表面的交聯(lián)提升了邊界層的粘合力；或在等離子體處理環(huán)節(jié)中引入偶極子，提高了聚合物表面的附著強(qiáng)度；也可能是等離子體處理消除了聚合物表面的污垢，改善了附著條件。電暈處理也有同樣的效果。