電漿清洗機電源完整性電源系統(tǒng)規(guī)劃應注意幾點：
(1)電漿清洗機電源完整性電源系統(tǒng)噪聲余量剖析絕大多數芯片都會給出一個正常工作電壓范圍，通常為±5%。過去穩(wěn)壓片的導出電壓精度通常為±2.5%，所以電源噪聲的峰值幅度不宜大于±2.5%。精密度是有條件的，包含負載情況、工作溫度等限制.

(2)整個設備電漿清洗機電源噪音余量的核算,諸如芯片的穩(wěn)定工作電壓是3.13V到3.47V，穩(wěn)壓芯片為名導出是3.3V。整個設備布置在主板上，整個設備電源穩(wěn)壓芯片導出3.36V。隨后，許可的電壓變化幅度是3.47-3.36=0.11V=110mV。穩(wěn)壓片控制精度±1%，即±3.363*1%=±33.6mV。電力系統(tǒng)噪聲的余量是110-33.6=76.4mV。
(3)電漿清洗機電源整流器電源噪音如何產生,穩(wěn)壓電源芯片本來的導出忽高忽低，也會產生一定波動。另一個是穩(wěn)壓電源不能實時響應負載對電流要求的快速變化。整流電源穩(wěn)壓電源芯片感知其輸出電壓的變化，調整其輸出電流，使其回到額定輸出電壓。其三，負載瞬態(tài)電流在電源途徑阻抗和地途徑阻抗上產生的壓降，引腳及焊盤本身都會有寄生電感，瞬態(tài)電流流經該通道時必然產生壓降，所以，電源完整性所以，負載芯片電源引腳處的電壓會隨瞬態(tài)電流的變化而搖動，這就是發(fā)生阻抗時產生的電源噪聲。