等離子清洗機設備的工作原理：以氣體為清洗介質，能有效地避免液體清洗介質對清洗物體的二次污染。通過外置真空泵，清洗腔體內的等離子體沖刷待清洗物體的表面，可以在短時間內徹底清洗有(機)污染物。同時污染物被真空泵抽走，從而達到清洗的目的。在特定的環境中，其屬性可以根據不同的材料表面而改變。等離子體作用于材料表面，重組材料表面的分子化學鍵，形成新的表面特性。
等離子清洗設備的基本構造：
根據使用的需要，可以選擇多種結構的等離子清洗設備，也可以選擇無用氣型，通用的調節裝置包括真空室、真空泵、高頻電源、接觸器、氣體輸入系統、工作輸送系統和控制系統等。真空泵一般采用旋轉泵，高頻電源一般采用13.56兆赫無線電波，工作流程如下:
1.清潔后的工件送入真空室并固定好，啟動運轉裝置，開始排氣，使真空室的真空度達到10帕標準真空。通常的排氣時間大約2毫秒。
2.向真空室中注入等離子清洗用的氣體，并保持壓力為100pa。根據不使用的清潔材料，可以選擇氧氣、氫氣或氮氣。
3.對真空室電極和接地裝置之間施加高頻電壓，會引起氣體破裂，產生離子化作用，使電漿通過輝光放電產生電漿。將真空室產生的等離子體完(全)覆蓋在處理后的工件上，并開始清洗操作。一般的清理過程會持續幾十秒到幾分鐘。
4.清潔完畢后，切斷高頻電壓，把氣體和蒸發的污物排出，同時把氣體壓入真空室內，使空氣壓力升高，使空氣壓力上升。
