plasma原子團化學(xué)反應(yīng)在多晶硅工業(yè)行業(yè)的應(yīng)用研究：
        化學(xué)反應(yīng)即原子或原子團層面的重新組合，需要外界提供必要的反應(yīng)活化能。相對plasma而言，工業(yè)生產(chǎn)的反應(yīng)物質(zhì)多呈密集的凝聚態(tài)。參加反應(yīng)氣體大多是“高濃度”的致密層，使向反應(yīng)體系持續(xù)傳遞大的激勵能量相當困難，一些需要特大活化能的化學(xué)反應(yīng)在常規(guī)技術(shù)條件下很難實現(xiàn)。

       化學(xué)與物理學(xué)之間聯(lián)系緊密分子中電子運動、原子間相互作用力、原子和分子的受激與電離等微觀形態(tài)，決定了物質(zhì)的物化性質(zhì)和化學(xué)反應(yīng)能力。因此應(yīng)用物理方法使物質(zhì)的狀態(tài)發(fā)生變化，可導(dǎo)致化學(xué)變化或影響化學(xué)反應(yīng)進行。
        為此電場向反應(yīng)室內(nèi)的氣體分子直接傳遞能量，產(chǎn)生具有足夠大能量的電子與氣體分子進行非彈性碰撞，將電子的幾乎全部能量傳遞給參加反應(yīng)的氣體分子，使反應(yīng)室內(nèi)氣體產(chǎn)生大量的光子、電子、離子、自由基以及活性原子激發(fā)態(tài)原子和活性分子等為其化學(xué)反應(yīng)提供極活潑的活性粒子，從而使得很多化學(xué)反應(yīng)條件變得溫和提高化學(xué)反應(yīng)效率。
       自然界中物質(zhì)存在形式有固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)，其中固態(tài)的組成粒子之間的結(jié)合致密，液態(tài)次之，氣態(tài)分散。要實現(xiàn)物質(zhì)在緊密到分散的聚合態(tài)的轉(zhuǎn)化需要提供額外的能量破壞原粒子間較大的結(jié)合能。同理，當物質(zhì)為氣態(tài)后，繼續(xù)提供能量組成氣體物質(zhì)粒子發(fā)生電離即形成plasma。