半導(dǎo)體封裝行業(yè)，包括集成電路、分立器件、傳感器和光電子的封裝，常常會用到金屬材質(zhì)的引線框架，為提高鍵合和封塑的可靠性，一般會把金屬支架過等離子清洗機(jī)處理幾分鐘，以清除表面的有機(jī)物、污染物，增加其可焊性、粘接性。但有時候我們會發(fā)現(xiàn)，金屬支架在等離子清洗機(jī)的真空環(huán)境下處理不當(dāng)，容易出現(xiàn)表面變色、發(fā)黑，嚴(yán)重的甚至是燒板等現(xiàn)象。難道是因為腔體里面空氣沒有抽干凈，殘余空氣中氧分子被激發(fā)，形成氧等離子體與金屬表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而形成氧化的結(jié)果？原因會是這樣嗎？

1 等離子清洗機(jī)真空度對產(chǎn)品清洗效果和變色的影響

等離子清洗機(jī)真空度關(guān)聯(lián)因素包括真空腔體漏率、背底真空、真空泵的抽速和工藝氣體的進(jìn)氣流量等。真空泵抽速快，背底真空值越低，說明里面殘留的空氣越少，銅支架與空氣里面的氧等離子體反應(yīng)的機(jī)會就越少；當(dāng)工藝氣體進(jìn)入，形成的等離子體可以充分與銅支架反應(yīng)，沒有被激發(fā)的工藝氣體可以把反應(yīng)物帶走，銅支架清洗效果會好，不容易變色。

2 等離子清洗機(jī)電源功率對產(chǎn)品清洗效果和變色的影響

等離子清洗機(jī)電源功率關(guān)聯(lián)因素包括能量功率大小和單位功率密度。電源功率越大，等離子體能量就越高，對產(chǎn)品的表面轟擊力越強(qiáng)；同等功率的情況下，處理的產(chǎn)品數(shù)量越少，單位功率密度就越大，清洗的效果就越好，但有可能會造成能量過大，板面變色或者燒板。

3 等離子清洗機(jī)電場分布對產(chǎn)品清洗效果和變色的影響

等離子清洗機(jī)的等離子電場分布關(guān)聯(lián)因素包括電極結(jié)構(gòu)、氣體流向和金屬產(chǎn)品的擺放位置等相關(guān)。不同處理材料、工藝需要以及產(chǎn)能要求，對電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計是不一樣的；氣體流向會形成一個氣場，對等離子體的運(yùn)動、反應(yīng)、均勻性都會有影響；產(chǎn)品的擺放位置，會影響到電場和氣場特性，導(dǎo)致能量分配不均衡，局部等離子密度過大而燒板。

除了以上幾個因素外，實踐證明等離子清洗機(jī)的處理時間、電源頻率、載具類型等對產(chǎn)品的處理效果和變色也是有影響的。