真空等離子清洗設備誕生在20世紀初，近年來已在眾多高新技術領域中，占據了關鍵技術的地位。等離子清洗設備技術率先推動了電子信息行業的發展，特別是半導體和光電行業的發展。由于等離子清洗機在很多的行業中得到了廣泛的應用，今天我們來談談真空等離子清洗設備該如何選擇？在真空等離子清洗設備的選擇上，主要從以下幾個方面考慮。
一、腔體容量
1、工件容量：
       一般來說，真空等離子清洗機的分類主要是根據腔體的大小和腔體的材料來劃分的，在選擇腔體的大小時，首先要考慮的是工件的大小，也就是說，至少要能把工件放下，如果工件連放都放不下，再考慮其素也沒什么意義。
2、生產能力：
       對于生產能力要求高的物品，必須根據生產能力選擇腔體容量。腔體容量越大，每次加工處理的物品越多。如果生產能力要求不高，工件容量應優先考慮。在可降件的情況下，根據其生產能力計算出比較適合的腔體容量。

二、選擇什么頻率的真空等離子清洗設備。
       近年來較為常用的頻率有40KHz,13.56MHz,20Mhz。40kHz的自偏壓約為1000伏，13.56兆赫的自偏壓約為250伏，20兆赫的自偏壓較低。激發頻率的機制各不相同。40兆赫的反應是物理反應，13.56兆赫的反應既有物理反應又有化學反應。20兆赫有物理反應，但更重要的是化學反應。
三、腔體材質選擇
       近年來較為常用的腔材料有石英腔、不銹鋼腔、鋁合金腔等，石英腔溫度低，不易發生反應。鋁型材的優點:鋁型材密度低，強度高，優于鋼，加工性能好。鋁具有良好的導電、導熱和抗腐蝕性能。該材料具有良好的化學反應相容性，不容易產生金屬污染、無污染等。

四、真空泵選擇
       究竟是選用國產的還是進口的，是單級泵還是油泵，是單級泵還是雙極泵，可根據客戶的實際需求來選擇每一臺真空泵，這里就不多說了。
五、氣路選擇
       真空等離子體清洗設備都是兩通道，但這不能滿足所有的處理要求。如果需要更多的反應氣體，氣體通道應適當增加，這也是根據用戶的實際需要選擇多通道。
     以上是小編從五個方面來對真空等離子清洗設備該如何選擇做了闡述。